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ARZUFFI發電機 BDS-MF系列
Arzuffi BDS-MF是一款等離子發生器，其正弦輸出電壓為40 kHz，最大功率輸出為5 kW或10 kW，專為PECVD等離子或等離子體激發而設計。
該發生器能夠提供高達10kW(5KW)至5000V的RMS輸出。輸出為兩個對稱電極的平衡型。
典型的應用是大型工藝室的PECVD工藝。
一個特點是內部輸出的高壓變壓器，帶有兩個插座，以適應等離子體阻抗。
該發生器設計用于現有機器上的即插即用安裝。
ARZUFFI發電機 BDS-MF系列參數：
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BDS-MF5K |
BDS-MF10K |
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輸出功率 |
負載為2000歐姆負載時為5 kWatt |
負載為2000歐姆負載時為10 kWatt |
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供電電壓 |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，10A (L1，L2，L3，PE) |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE) |
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尺寸 |
抽屜19英寸機架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
抽屜19英寸機架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
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重量 |
20KG鋁制容器 |
20KG鋁制容器 |
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冷卻 |
空氣冷卻，高效散熱器，該裝置可在高達40°C的環境溫度下工作 |
空氣冷卻，高效散熱器，該裝置可在高達40°C的環境溫度下工作 |
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輸出電壓 |
在2000歐姆負載時，tap2上的電壓高達5000V |
在2000歐姆負載時，tap2上的電壓高達5000V |
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輸出電流 |
TAP1上最高3.5 A，TAP2上最高2.5A |
TAP1上最高3.5 A，TAP2上最高2.5A |
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輸出連接器 |
2個Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜 |
2個Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜 |
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等離子點火電壓 |
大于5500 VRMS |
大于5500 VRMS |
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電弧識別電路 |
過流一次回路，反應時間1微秒 |
過流一次回路，反應時間1微秒 |
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接口 |
DB25連接器，模擬10V信號，24V數字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發生器(可選) |
DB25連接器，模擬10V信號，24V數字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發生器(可選) |
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前面板 |
LCD顯示2×40個字符 |
LCD顯示2×40個字符 |
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測量電路 |
RMS電壓，RMS電流，負載上提供的有功功率 |
RMS電壓，RMS電流，負載上提供的有功功率 |
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調節電路 |
動力 |
動力 |
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高壓輸出變壓器 |
兩個Tap1輸出插座，用于1000歐姆負載，Tap2用于2000歐姆負載 |
兩個Tap1輸出插座，用于1000歐姆負載，Tap2用于2000歐姆負載 |
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合規 |
EC可根據要求提供符合性聲明 |
EC可根據要求提供符合性聲明 |
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